一、主流精度范圍（相對誤差）

• 高精度型（實驗室 / 校準級）：±0.5%～±1%（如 EST103、部分 Prostat gao端款）

• 工業標準型（ESD 常用）：±2%～±5%（如 Prostat CVM-780、ACL-600）

• 經濟型 / 便攜式：±5%～±10%（常見于現場快速檢測）

二、按量程的典型精度（以 Prostat CVM-780 為例）

三、影響精度的關鍵因素

1. 輸入阻抗：必須 ≥1012Ω，否則會泄放電荷、讀數偏低

2. 接觸狀態：接觸不良、表面污染會顯著增大誤差

3. 被測對象：

• 導體 / 靜電耗散材料：精度接近標稱

• 高絕緣材料：誤差常達 ±10% 甚至更大

4. 環境：濕度、溫度、電磁干擾會影響穩定性

5. 校準：需定期（通常 1 年）溯源校準

四、表面電阻 / 電阻率測試儀（另一類接觸式）

• 電阻精度：±5%～±10%（10?～1011Ω 區間）

• 電阻率：誤差通常在 ±10%～±20%，受材料均勻性影響大

一句話總結